主要特點(diǎn)

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1. 內(nèi)置耐高溫高效過(guò)濾器，100級(jí)無(wú)塵環(huán)境

2. 穩(wěn)定運(yùn)行溫度可250~450℃選擇

3. 實(shí)時(shí)微量氧濃度檢測(cè)系統(tǒng)，可對(duì)內(nèi)部氧量進(jìn)行監(jiān)控

4. 氧濃度監(jiān)控范圍1~9999PPM；最低可達(dá) ≤20PPM

5. LCD觸摸式 7”中英文彩色可編程控制器

6. 全密封箱體設(shè)計(jì)，特別送氮和排氧回路，防氧化

7. CBI專利設(shè)計(jì)雙門封結(jié)構(gòu)，免除水冷管路閥件，可靠性高

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產(chǎn)品主要應(yīng)用

1. PI/BCB 膠高溫厭氧固化

2. 環(huán)氧樹(shù)脂膠厭氧固化

3. 晶圓退火或鈍化

4. 掩模版清洗后無(wú)塵防氧化干燥